ZF-MFC-1系列质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）是以气体的质量流量为计量基准的流量计。传感器采用进口流量传感芯片，其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性，同时具有全量程高稳定性，高精确度和优良的重复性，测量精度高，计量的起始流量小，传感器的零点稳定度高，响应速度快。同时可输出4~20mA信号，可供远程仪表连接由上位机实现设定、控制、记录等功能 。

主要特点
全量程高稳定性，高精确度和优良的重复性
LED显示瞬时流量值及设定流量值
响应速度快
程序设定流量、手/自动软切换

技术指标
流量范围：
0~100,200,300，500 SCCM （ml/min）
1,2,5,10,50 SLPM （l/min）特殊规格另定
精 度：±(2.0+0.5%FS)
控制精度：±1%FS（恒流）
重 复 性：±0.5 %
响应时间：100(默认，可设置50,200,500，) ms
输出精度： 0.12% （%／℃)
零点输出漂移：±1个字
最大工作压力: 0.5MPa 
电源电压：DC15V/0.5A
编程功能：多段程序设定流量（可配置）
控制方式：数显并控制 彩色液晶电脑记录仪表远程操作
输出方式：RS232. RS485 .4~20mA
记录方式：实时记录，历史记录，可流量积算，并可配上位机软件
工作温度：-10~+55℃
存储温度：-20~+65℃
外形尺寸：168×30×132mm